三坐标测量仪是一种具有可作三个方向移动的探测器,可在三个相互垂直的导轨上移动,此探测器以接触或非接触等方式传送讯号,三个轴之位移量测系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(x,y,z)及各项功能量测的仪器。
其工作原理是利用光绕射所制成的量测系统俗称光学尺,其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺,藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理,由光电管接收其信号,经放大及修正后即可显示出来,其系统及输出信号情形。