给X光管施加很高的电压（几千伏到几十千伏），然后在X光管的阴极和阳极之间形成高强度的电场，电子流轰击阳极靶材，产生X射线。
光管产生的X射线通过窗口照射出来，照到样品上面，会对样品元素又进行一次激发，样品元素原子外层电子被X射线打出来，余下的空穴会由更外层的电子进行补充。
在电子补充（跃迁）的过程中，会以光子形式辐射出能量，这种光子就形成了X荧光。
当这种荧光被探测器检测到时，我们就能看到样品中各元素的组成成份。
