臭氧在大气中达到一定的浓度时就会造成环境污染，我国规定在居住环境臭氧浓度超过0.16mg/m3 时就构成空气污染；在作业场所臭氧浓度超过0.2mg/m3 时就构成污染。空气中臭氧浓度达到0.2ppm时，嗅觉灵敏的人就可以察觉，称之为感觉的临界值，浓度在0.15ppm时为嗅觉临界值，一般人即可嗅岀，这也是卫生标准点。
国际臭氧协会规定，应用臭氧的专业室内，在0.1ppm浓度下，允许工作10小时。美国标准规定，人员可在0.1ppm浓度下工作8小时（一般森林地区臭氧浓度即可达到0.1ppm）。我国卫生部制定的《工业卫生标准》中规定，臭氧的安全标准为0.15ppm。
臭氧能引起人一定反应的浓度为0.5-1ppm,允许接触的时间为1.5小时，时间长了会感到口干等不是；浓度在1-4ppm会引起咳嗽，允许接触时间为60分钟；浓度在4-10ppm会引起强烈咳嗽，允许接触时间为5至20分钟。
众所周知，臭氧的半衰期为10至30分钟，最终的分解物为氧气，所以对食品及人体不会有任何残留物。实践证明，应用臭氧消毒、灭菌多年没有发现设备、装置、材料、人体受损的情况。目前在世界范围内纯净水天然水地下水等经过过滤等工序后已普遍采用臭氧消毒杀菌。
